高纯气体通常是指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同。高纯气体应用领域宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
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