特种气体的供气系统
通常特种气体根据气体性质不同分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体，不同的气体的供气系统不同，今天我们就给大家介绍一下特种气体的供气系统：
1、简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等，它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低，由于气体流量小，不经常使用，简单供气系统通常存在安全隐患。
2、常规供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业，对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。
3、大宗特气供气系统
大宗特气供应系统采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。特种气体采用独立气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用独立的气体房，独立的抽风系统。
